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          1. 技术优势   Technical advantages

                 

            硅烷有多种制法,目前主流的生产工艺有:硅镁合金法工艺(Komatsu 硅化镁法);氯硅烷歧化工艺(Union Carbide 歧化法);金属氢化物工艺(MEMC公司发明的新硅烷法)三种。上海交通大学肖文德教授以多功能反应完善了UCC工艺,在硅烷科技公司应用获得 成功,其反应式为:


              Si+HCl----------- SiHCl3


              SiHCl3-----------SiCl4+ SiH2Cl2


              SiH2Cl2----------SiHCl3+ SiH3Cl


              SiH3Cl-----------SiH4+ SiH2Cl2


              该完善了UCC工艺中存在的三氯氢硅转化效率低的不足,将其转化率到以平,使我国生产高纯硅烷走到了世界。


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